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概述：
干式真空机组是以罗茨真空泵为主泵，干式螺杆真空泵为前级泵的抽气系统。此中机组的过流部分没有任何液体作为工作液，对被抽工艺气体不产生任何二次污染，有利于保持被抽系统的清洁，便于排除气体的回收。
由于此种机组具有大抽气量、高真空度、无污染的特点，因此其应用越来越广泛。
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规格型号 |
单位 |
JZDP150-2 |
JZDP300-2 |
JZDP600-4 |
JZDP600-2 |
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抽气速率 |
L/S |
150 |
300 |
600 |
600 |
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极限压力 |
Pa |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
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前级泵
（螺杆泵） |
规格型号 |
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SDP-80 |
SDP-120 |
SDP-120 |
SDP-200 |
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抽气速率 |
L/S |
80 |
120 |
120 |
200 |
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配套功率 |
KW |
7.5 |
15 |
15 |
18.5 |
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主泵
（罗茨泵） |
规格型号 |
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ZJ-150 |
ZJ-300 |
ZJ-600 |
ZJ-600 |
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抽气速率 |
L/S |
150 |
300 |
600 |
600 |
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配套功率 |
KW |
3 |
4 |
5.5 |
5.5 |
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入口 |
Mm |
100 |
150 |
150 |
150 |
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出口 |
Mm |
40 |
50 |
50 |
65 | | |
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